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真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，H4453H真空阀，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

真空阀是指工作压力低于标准大气压的阀门。

真空截止阀、真空隔膜阀、真空电磁阀、真空安全阀、真空档板阀、真空插板阀、真空充气阀等

活套法兰连接这是阀门中用得较多的连接形式。按结合面形状又可分为以下几种：1）光滑式：用于压力不高的阀门。加工比较方便。2）凹凸式：工作压力较高，DNPH8180真空阀，可使用中硬垫圈。3）榫槽式：可用塑性变形较大的垫圈，在腐蚀性介质中使用较广泛，上海真空阀，密封效果较好。

变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种： 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。

 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。